发明名称 NMOS一次可编程器件及其制造方法
摘要 本发明公开了一种NMOS一次可编程器件,包括一耦合电容和一NMOS晶体管,耦合电容一端的同NMOS晶体管浮栅的多晶硅层相连,NMOS晶体管的沟道表面有一耗尽层,耗尽层之上为栅介质层,栅介质层之上为浮栅多晶硅层。本发明的NMOS一次可编程器件,可实现用零伏电压读取数据,即可省去读取数据时NMOS晶体管栅极所需要的外围电压转换电路。本发明还公开了该NMOS一次可编程器件的制造方法。
申请公布号 CN101872765A 申请公布日期 2010.10.27
申请号 CN200910057113.4 申请日期 2009.04.23
申请人 上海华虹NEC电子有限公司 发明人 徐向明;胡晓明;黄景丰;蔡明祥
分类号 H01L27/115(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I;H01L21/8247(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L21/265(2006.01)I 主分类号 H01L27/115(2006.01)I
代理机构 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人 王江富
主权项 一种NMOS一次可编程器件,包括一耦合电容和一NMOS晶体管,耦合电容的一端同NMOS晶体管浮栅多晶硅层相连,其特征在于,NMOS晶体管的沟道表面有一耗尽层,耗尽层之上为栅介质层,栅介质层之上为浮栅多晶硅层。
地址 201206 上海市浦东新区川桥路1188号