发明名称 |
NMOS一次可编程器件及其制造方法 |
摘要 |
本发明公开了一种NMOS一次可编程器件,包括一耦合电容和一NMOS晶体管,耦合电容一端的同NMOS晶体管浮栅的多晶硅层相连,NMOS晶体管的沟道表面有一耗尽层,耗尽层之上为栅介质层,栅介质层之上为浮栅多晶硅层。本发明的NMOS一次可编程器件,可实现用零伏电压读取数据,即可省去读取数据时NMOS晶体管栅极所需要的外围电压转换电路。本发明还公开了该NMOS一次可编程器件的制造方法。 |
申请公布号 |
CN101872765A |
申请公布日期 |
2010.10.27 |
申请号 |
CN200910057113.4 |
申请日期 |
2009.04.23 |
申请人 |
上海华虹NEC电子有限公司 |
发明人 |
徐向明;胡晓明;黄景丰;蔡明祥 |
分类号 |
H01L27/115(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I;H01L21/8247(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L21/265(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/115(2006.01)I |
代理机构 |
上海浦一知识产权代理有限公司 31211 |
代理人 |
王江富 |
主权项 |
一种NMOS一次可编程器件,包括一耦合电容和一NMOS晶体管,耦合电容的一端同NMOS晶体管浮栅多晶硅层相连,其特征在于,NMOS晶体管的沟道表面有一耗尽层,耗尽层之上为栅介质层,栅介质层之上为浮栅多晶硅层。 |
地址 |
201206 上海市浦东新区川桥路1188号 |