发明名称 SISTEMA DE ALINEACION DE PATRONES EN UN SUSTRATO MEDIANTE LITOGRAFIA POR ESTENCIL
摘要
申请公布号 ES2332082(B1) 申请公布日期 2010.10.26
申请号 ES20080002208 申请日期 2008.07.24
申请人 CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTIFICAS (CSIC);UNIVERSIDAD AUTONOMA DE BARCELONA;ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (EPFL) 发明人 PEREZ MURANO FRANCESC;ARCAMONE JULIEN;SANSA MARC;BRUEGGER JUERGEN;VAN D N BOOGART MARC;BARNIOL BEUMALA NURIA
分类号 H01L21/68;C23C14/04;G03F9/00 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
地址