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发明名称 METHOD FOR FABRICATING FINE PATTERN AND OPTICAL DEVICE
摘要
申请公布号 KR100989312(B1) 申请公布日期 2010.10.25
申请号 KR20080052014 申请日期 2008.06.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H01L21/027;H01L21/31 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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