| 主权项 |
一种端部检查装置之校正方法，该端部检查装置系具备：发光部，对被检查基板之端部照射检查光；以及检测部，用以检测在前述被检查基板之前述端部反射之反射光之光学特性，而且根据由前述检测部所检测出之前述反射光的前述光学特性，对前述被检查基板之前述端部所产生之缺陷进行检测者，其特征为该校正方法具备：拟似缺陷形成步骤，在成为基准之校正用基板的端部，以周方向形成以使厚度方向之位置、形状、尺寸之中之至少1个分别彼此相异的方式设定的复数个拟似缺陷；检测步骤，对前述各拟似缺陷之各个照射前述检查光，且藉由前述检测部检测前述反射光之前述光学特性；以及调整步骤，根据由前述各拟似缺陷之各个所检测出的前述反射光之前述光学特性，进行前述端部检查装置的校正；在前述调整步骤中，系根据在前述检测步骤中所检测出之前述各拟似缺陷中之前述反射光的前述光学特性，来决定前述被检查基板之前述端部之合格与否的基准值。如申请专利范围第1项之端部检查装置之校正方法，其中，在前述拟似缺陷形成步骤中，系将前述各拟似缺陷之前述形状及前述尺寸设为一定，而且以前述校正用基板之厚度方向的中心为基准而在其两侧以一定的位移量使前述厚度方向的位置位移，藉此形成前述各拟似缺陷。如申请专利范围第1项之端部检查装置之校正方法，其中，在前述拟似缺陷形成步骤中，系将前述各拟似缺陷之前述厚度方向的位置及前述形状设为一定，而且以一定的变化量或变化率使前述尺寸改变，藉此形成前述各拟似缺陷。如申请专利范围第1项之端部检查装置之校正方法，其中，前述端部检查装置之前述检测部系用以检测前述反射光之强度作为前述光学特性的光感测器，在前述调整步骤中，系将在前述检测步骤中所检测出之前述各拟似缺陷中的前述反射光之强度与预定值相比较，藉此调整对前述反射光之强度造成影响之前述发光部及前述检测部的特性值。如申请专利范围第1项之端部检查装置之校正方法，其中，前述端部检查装置之前述检测部系将由前述发光部所照射的前述检查光作为照明光而对前述基板之前述端部进行摄影的摄影机，在前述调整步骤中，系分别彼此比较在前述检测步骤中由前述检测部所拍摄到之前述画像资料中之形成有前述各拟似缺陷之部分的画素数，以调整对所取得之前述画像资料造成影响之前述发光部及前述检测部的特性值。 |
