Eine Schraubenvakuumpumpe, die insbesondere zur Verdichtung gegen Atmosphärendruck eingesetzt wird, weist einen in einem Pumpengehäuse (10) angeordneten Schöpfraum (12) auf. In dem Schöpfraum (12) sind zwei ineinander greifende Schraubenrotoren (14) angeordnet. Ferner ist ein Überdruckauslass (26) vorgesehen, der eine in einer Seitenwand (24) des Schöpfraums (12) angeordnete Überdrucköffnung (28) aufweist. Ferner weist der Überdruckauslass (26) ein Überdruckventil (34) auf. Eine Breite (b) der Überdrucköffnung (28) ist in Längsrichtung (20) der Schraubenrotoren (14) kleiner oder gleich einer Zahnbreite (B) der Schraubenrotoren (14).
申请公布号
DE102009017886(A1)
申请公布日期
2010.10.21
申请号
DE20091017886
申请日期
2009.04.17
申请人
OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH
发明人
BIRCH, PETER;JENKINS, ROBERT;MUELLER, ROLAND;JANICKI, MAGNUS;GIEBMANNS, WOLFGANG