| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS MIT ULTRASCHMALEM KANAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE602004029060(D1) |
申请公布日期 |
2010.10.21 |
| 申请号 |
DE20046029060T |
申请日期 |
2004.07.21 |
| 申请人 |
INTEL CORP. |
发明人 |
HARELAND, SCOTT;CHAU, ROBERT |
| 分类号 |
H01L21/335;H01L29/76;H01L29/775 |
主分类号 |
H01L21/335 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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