| 发明名称 |
THIN FILM FORMING DEVICE BY PLASMA TREATMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01111876(A) |
申请公布日期 |
1989.04.28 |
| 申请号 |
JP19870268105 |
申请日期 |
1987.10.26 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
WATANABE TAKESHI;TANAKA MASAHIRO;AZUMA KAZUFUMI;NAKATANI MITSUO;SONOBE TADASHI |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/363 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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