Verfahren zum Befestigen einer ersten Trägereinrichtung an einer zweiten Trägereinrichtung und mikromechanische Bauteile

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Befestigen einer ersten Tägereinrichtung (10) an einer zweiten Trägereinrichtung mit Bilden mindestens einer ersten Bond- und/oder Lötschicht (14) an einer ersten Außenseite (12) der ersten Trägereinrichtung (10), wobei eine Teiloberfläche (16) von der mindestens einen ersten Bond- und/oder Lötschicht (14) umrahmt wird, Anordnen der ersten Trägereinrichtung (10) an der zweiten Trägereinrichtung, und Festbonden oder Festlöten der ersten Trägereinrichtung (10) an der zweiten Trägereinrichtung, wobei die mindestens eine erste Bond- und/oder Lötschicht (14) so gebildet wird, dass eine erste Abdeckfläche (30) größer als eine erste Kontaktfläche (34) geformt wird. Ebenso betifft die Erfindung ein Verfahren zum Befestigen einer ersten Trägereinrichtung (10) an einer zweiten Trägereinrichtung, wobei mindestens eine bond- und/oder löttemperaturbeständige Fließschutz-Oberflächenunebenheit (86, 88) gebildet wird. Des Weiteren betrifft die Erfindung entsprechende mikromechanische Bauteile.