发明名称 APPARATUS FOR DETECTING POSITION OF SUBSTRATE AND METHOD FOR CALIBRATING POSITION OF IMAGING PARTS THEREOF
摘要
申请公布号 KR100988799(B1) 申请公布日期 2010.10.20
申请号 KR20087019753 申请日期 2008.02.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;H01L27/146 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
地址