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发明名称
摘要
申请公布号
JP4567179(B2)
申请公布日期
2010.10.20
申请号
JP20000370326
申请日期
2000.12.05
申请人
发明人
分类号
C04B41/90;H01L23/13;C04B41/52;H01L23/12
主分类号
C04B41/90
代理机构
代理人
主权项
地址
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