一种硅单晶炉热场系统的改进方法

摘要

本发明涉及一种硅单晶炉热场系统的改进方法，改进设计针对目前普遍使用的硅单晶炉且在维持原炉腔结构下进行，包括：加大保温筒、加热器的直径，加大坩埚的直径和高度，加大导流筒的直径和高度，并相应地加大埚托直径和厚度，调整托杆的尺寸以及石墨电极的直径和高度；保温层采用碳纤维固体毡并分设为上保温套、中保温套和下保温套；在保温盖上面设置挡圈。可实现硅单晶炉投料量增加，所生产的单晶硅棒直径加大和/或长度增长，从而提高成品太阳能电池的效能，提高硅材料利用率，降低单位能耗，提高生产效率，降低生产成本。

主权项

一种硅单晶炉热场系统的改进方法，所述热场系统位于硅单晶炉炉腔内，包括石墨电极、加热器、坩埚、导流筒、保温筒、保温盖、保温层、埚托和托杆；其特征在于，所述的改进在维持所述硅单晶炉炉腔结构下进行，包括：(1)加大所述保温筒的直径，当所述保温筒外侧设置保温层后，所述保温层与所述硅单晶炉炉腔内壁间留有一定间隙，间隙小但不相接触，使热场系统具有良好的保温性能；(2)加大所述加热器的直径，使其与所述保温筒相适应；(3)加大所述坩埚的直径和高度，使其与所述加热器相适应，并所述坩埚的上端面设置于所述加热器的上端面以下；(4)加大所述导流筒的直径和高度，并设置所述导流筒的下端面恰好在所述坩埚的上端面以下；(5)相应地加大所述埚托直径和厚度，使其与所述坩埚相适应；(6)相应地调整所述托杆的尺寸；(7)相应地调整所述石墨电极的直径和高度。