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发明名称
摘要
申请公布号 JP4566529(B2) 申请公布日期 2010.10.20
申请号 JP20030273363 申请日期 2003.07.11
申请人 发明人
分类号 B81B3/00;G11B5/596;G11B21/10;G11B21/21;H01L41/083;H01L41/09;H01L41/187 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
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