发明名称 半导体存储器及其制造方法
摘要 本发明提供了半导体存储器及其制造方法。这里所公开的半导体存储器包括:第一MOS晶体管,其形成在半导体基板上并具有两个扩散层;第二MOS晶体管,其形成在半导体基板上,并且具有第一MOS晶体管的两个扩散层之一,作为第一和第二MOS晶体管的公共扩散层;以及可变电阻元件,其形成在侧壁绝缘膜之间并被连接到公共扩散层,所述侧壁绝缘膜形成在第一MOS晶体管的第一栅电极和第二MOS晶体管的第二栅电极的各自的侧壁上。
申请公布号 CN101866940A 申请公布日期 2010.10.20
申请号 CN201010145630.X 申请日期 2010.04.09
申请人 索尼公司 发明人 青屉浩
分类号 H01L27/24(2006.01)I;H01L45/00(2006.01)I;H01L21/82(2006.01)I 主分类号 H01L27/24(2006.01)I
代理机构 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 代理人 宋鹤;南霆
主权项 一种半导体存储器,包括:第一MOS晶体管,其形成在半导体基板上并具有两个扩散层;第二MOS晶体管,其形成在所述半导体基板上,并且具有所述第一MOS晶体管的所述两个扩散层之一作为所述第一和第二MOS晶体管的公共扩散层;以及可变电阻元件,其形成在侧壁绝缘膜之间并被连接到所述公共扩散层,所述侧壁绝缘膜形成在所述第一MOS晶体管的第一栅电极和所述第二MOS晶体管的第二栅电极的各自的侧壁上。
地址 日本东京都