发明名称 SILICON CARBIDE SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME
摘要
申请公布号 EP2075847(A4) 申请公布日期 2010.10.20
申请号 EP20070807245 申请日期 2007.09.13
申请人 NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCEAND TECHNOLOGY 发明人 YATSUO, TSUTOMU;HARADA, SHINSUKE;OKAMOTO, MITSUO;FUKUDA, KENJI;KATO, MAKOTO
分类号 H01L29/78;H01L21/04;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/24 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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