小尺寸材料浅层缺陷检测系统

摘要

本发明公开了一种小尺寸材料浅层缺陷检测系统，包括脉冲激光器、分光镜、柱面凸透镜、接收传感器、高精度延时装置、电子计算机，所述分光镜设置在脉冲激光器的前方，脉冲激光器发出的激光经分光镜分成两束，一束激光通过柱面凸透镜聚焦入射到待测材料的表面，另一束激光入射到高精度延时装置上，高精度延时装置的输出端与接收传感器的输入端相连接，高精度延时装置接收到激光信号后延时一段时间，之后输出电信号作为接收传感器的触发信号，接收传感器接收到触发信号后开始探测待测材料上传播的超声波信号，并将探测到的超声波信号传输给电子计算机进行处理。本发明的检测系统检测精度高，可以检测固体材料浅层纳米量级的微小缺陷。

主权项

一种小尺寸材料浅层缺陷检测系统，其特征在于，包括脉冲激光器[101]、分光镜[102]、柱面凸透镜[103]、接收传感器[105]、高精度延时装置[106]、电子计算机[107]，所述分光镜[102]设置在脉冲激光器[101]的前方，脉冲激光器[101]发出的激光经分光镜[102]分成两束，一束激光通过柱面凸透镜[103]聚焦入射到待测材料[104]的表面，另一束激光入射到高精度延时装置[106]上，高精度延时装置[106]的输出端与接收传感器[105]的输入端相连接，高精度延时装置[106]接收到激光信号后延时一段时间，之后输出电信号作为接收传感器[105]的触发信号，接收传感器[105]接收到触发信号后开始探测待测材料[104]上传播的超声波信号，并将探测到的超声波信号传输给电子计算机[107]进行处理。