发明名称 采用受控声光调制器负载的激光脉冲选取
摘要 激光装置(126)及声光调制器(AOM)(10)以规律性及相同恒定高重复率的脉冲传送,以提供可变非照射间隔(50)的工作激光输出(40),而不牺牲激光脉冲对脉冲能量稳定度。当要求工作激光输出(40)时,RF脉冲(38)与激光输出(24)重合施加于AOM(10),以传送其至目标。当不要求工作激光输出(40)时,RF脉冲(38)与激光输出(24)非重合施加于AOM(10),使其被阻隔。所以,不论如何随机要求工作激光输出(40),AOM(10)上的平均热负载保持恒定。通过控制施加的RF脉冲(38)功率,AOM(10)也可以控制工作激光输出(40)的能量。当RF功率改变时,RF脉冲(38)的RF持续时间(44)被修改以保持恒定的平均RF功率。
申请公布号 CN1813339B 申请公布日期 2010.10.13
申请号 CN200480018419.4 申请日期 2004.05.05
申请人 电子科学工业公司 发明人 孙云龙;B·E·尼尔森;D·M·海明威;孙蕾
分类号 H01L21/268(2006.01)I;B23K26/08(2006.01)I;H01S3/00(2006.01)I;B23K26/38(2006.01)I 主分类号 H01L21/268(2006.01)I
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人 赵蓉民
主权项 一种使用基于激光的系统的方法;该基于激光的系统产生脉冲激光发射并包括外腔光学调制器,用以根据控制指令,提供输出发射状态及输出阻隔状态;所述输出发射状态让激光输出能够以工作激光输出的形式传送至目标;所述输出阻隔状态主要防止工作激光输出传送至目标;所述激光系统在其运行期间,将变化的热负载条件,作为连续输出发射状态之间不均匀间隔的结果,施加至所述外腔光学调制器;所述变化的负载条件导致所述工作激光输出产生失真;一种方法降低了由所述变化的负载条件导致的所述工作激光输出的负载变化和失真,包括:以恒定的激光输出重复率,产生一系列激光输出,其中,相邻的所述激光输出是由均匀的激光输出间隔彼此分隔开的;施加RF脉冲至所述外腔光学调制器,以RF脉冲重复率产生一系列输出发射状态,其中,相邻的所述输出发射状态是由可变的RF脉冲间隔彼此分隔开的;以及定时产生RF脉冲,并根据控制指令而定时产生所述激光输出;用于在非重合RF脉冲期间,实现输出发射状态与对应的激光输出不重合,以防止工作激光输出;并用于在重合RF脉冲期间,实现输出发射状态与对应的激光输出的重合,以达到用不同的工作激光输出间隔来照射各目标,其中对于一组重合和非重合RF输出脉冲,一个或多个RF脉冲对应于每个激光输出,从而降低了所述热负载变化。
地址 美国俄勒冈州