发明名称 | 保护带粘贴方法 | ||
摘要 | 本发明的保护带粘贴方法,将保护带粘贴到在正面形成有多个器件的基板的正面,其特征在于,包括:基板保持工序,将前述基板的背面吸附在吸附台上,将该基板在正面露出的状态下保持在吸附台上;保护带伸展工序,使保护带与前述吸附台上保持的前述基板的正面对置地伸展;按压工序,借助按压宽度至少为与前述基板直径同等的程度以上的按压辊,将前述保护带按压在前述基板的部分或者该部分的附近位置上;滚动工序,一边将前述按压辊按压在前述基板上,一边使按压辊滚动,而将前述保护带粘贴在基板的整个正面上。 | ||
申请公布号 | CN101060073B | 申请公布日期 | 2010.10.13 |
申请号 | CN200710096642.6 | 申请日期 | 2007.04.19 |
申请人 | 株式会社迪斯科 | 发明人 | 增田隆俊 |
分类号 | H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 温大鹏 |
主权项 | 一种保护带粘贴方法,将保护带粘贴到在正面形成有多个器件的基板的正面,其特征在于,包括:基板保持工序,将前述基板的背面吸附在吸附台上,将该基板在正面露出的状态下保持在吸附台上;保护带伸展工序,使保护带与前述吸附台上保持的前述基板的正面对置地伸展;按压工序,借助按压宽度至少为与前述基板直径同等的程度的按压辊,将前述保护带按压在前述基板的中央部分或者该中央部分的附近位置上;滚动工序,一边将前述按压辊按压在前述基板上,一边使按压辊滚动,而将前述保护带粘贴在基板的整个正面上。 | ||
地址 | 日本东京都 |