| 发明名称 | 软着陆扩散设备的炉门控制机构 | ||
| 摘要 | 一种软着陆扩散设备的炉门控制机构，包括总气路管道(1)和至少有一组气缸，每组气缸有三只气缸(7)；总气路管道(1)上装有一个压力检测开关(2)，该压力检测开关(2)的检测信号输出端同PC机的信号输入端连接；由所述PC机控制的通断电磁阀(5)的两端口分别同总气路管道(1)和中泻式三位五通换向阀(6)的气源进气端口相接；每个气缸(7)前装有一个ASP控制阀(8)，所述三位五通换向阀(6)的两出口分别分两路，一路相互串接在ASP控制阀的对方先导进气口上，另一路接ASP控制阀(8)的进气口。它可有效防止意外事件的发生，提升设备的整体性能。 | ||
| 申请公布号 | CN201605353U | 申请公布日期 | 2010.10.13 |
| 申请号 | CN200920259657.4 | 申请日期 | 2009.12.14 |
| 申请人 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 发明人 | 李克 |
| 分类号 | C30B31/00(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | C30B31/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人 | 马强 |
| 主权项 | 一种软着陆扩散设备的炉门控制机构，包括总气路管道(1)和至少有一组气缸，每组气缸有三只气缸(7)；其特征是，总气路管道(1)上装有一个压力检测开关(2)，该压力检测开关(2)的检测信号输出端同PC机的信号输入端连接；由所述PC机控制的通断电磁阀(5)的两端口分别同总气路管道(1)和中泻式三位五通换向阀(6)的气源进气端口相接；每个气缸(7)前装有一个ASP控制阀(8)，所述三位五通换向阀(6)的两出口分别分两路，一路相互串接在ASP控制阀的对方先导进气口上，另一路接ASP控制阀(8)的进气口。 | ||
| 地址 | 410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号 | ||