| 发明名称 | 反应腔压力自平衡控制系统 | ||
| 摘要 | 一种反应腔压力自平衡控制系统，包括压力控制仪、反应腔，反应腔经石英尾气管、石英冷凝瓶、稀释三通接头同抽风管连接，压差传感器的一端与大气连通而另一端接至与反应腔连通的压力检测管路，微流量控制阀接在管路和氮气气源管之间；气动后阀的一端同稀释三通接头连接而另一端同质量流量控制器的连接，质量流量控制器接至氮气气源管；压差传感器的信号输出端同压力控制仪的信号输入端连接，压力控制仪的控制信号输出端接至质量流量控制器的控制极。它解决了由进气流量、反应管内的结构分布、尾气排风口的流量、反应腔的密闭性差异带来的工艺波动问题。 | ||
| 申请公布号 | CN201608194U | 申请公布日期 | 2010.10.13 |
| 申请号 | CN200920259653.6 | 申请日期 | 2009.12.14 |
| 申请人 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 发明人 | 吴德轶 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人 | 马强 |
| 主权项 | 一种反应腔压力自平衡系统，包括压力控制仪(26)和一端设有工艺气体进口(9)而另一端有石英门的反应腔(10)，该反应腔(10)经石英尾气管(11)和石英冷凝瓶(14)接至石英缓冲瓶(13)的进气端口，石英缓冲瓶(13)的出气端口同稀释三通接头(7)的第一端口连接，稀释三通接头(7)的第二端口经螺旋管(5)和聚四氟调节阀(4)同设有负压表(2)和手动调节碟阀(3)的抽风管(1)连接，其特征是，压差传感器(22)的相对压力参考端(23)与常压大气连通而该压差传感器(22)的压差测量检测口(21)同三通接头(25)的第一端口连接，三通接头(25)的第二端口经压力检测管路(24)和聚四氟接头(18)同反应腔(10)连通，微流量控制阀(19)的一端同所述三通接头(25)的第三端口连接而另一端同氮气气源管(17)连通；气动后阀(15)的一端经稀释管道(8)同稀释三通接头(7)的第三端口连接而另一端同质量流量控制器(16)的一端口连接，质量流量控制器(16)的另一端口接至所述氮气气源管(17)；压差传感器(22)的信号输出端同压力控制仪(26)的信号输入端连接，压力控制仪(26)的控制信号输出端接至质量流量控制器(16)的控制极。 | ||
| 地址 | 410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号 | ||