| 发明名称 | 成膜槽上盖与喷头的一体化构造体 | ||
| 摘要 | 提供一种可在生产性、批量生产性上优异的成膜槽上盖与喷头的一体化构造体，具有组装在该上盖上的包括气体扩展部分的喷头构造、构成喷头的表面的喷淋板，和设于该上盖内部的温媒循环路径；该温媒循环路径配置成使其大部分与组装在该上盖内部的喷淋板的表面接触，该喷淋板的表面积与成膜槽顶部的面积为相同程度，根据成膜条件，可对喷头进行温度控制。 | ||
| 申请公布号 | CN101509129B | 申请公布日期 | 2010.10.13 |
| 申请号 | CN200910006426.7 | 申请日期 | 2004.08.06 |
| 申请人 | 爱发科股份有限公司 | 发明人 | 山田贵一;增田健;梶沼雅彦;西冈浩;植松正纪;邹红罡 |
| 分类号 | C23C16/455(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/455(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 何腾云 |
| 主权项 | 一种成膜槽上盖与喷头的一体化构造体，其特征在于，具有组装在该上盖上的包括气体扩展部分的喷头构造、构成喷头的表面的喷淋板，和设于该上盖内部的温媒循环路径；该温媒循环路径配置成使其大部分与组装在该上盖内部的喷淋板的表面接触，该喷淋板的表面积与成膜槽顶部的面积为相同程度，根据成膜条件，可对喷头进行温度控制。 | ||
| 地址 | 日本神奈川 | ||