发明名称 |
具有石英窗口传感器的嗅吸测漏器 |
摘要 |
本发明涉及一种嗅吸测漏器,其包括石英窗口传感器(16),所述传感器设有能够选择性地透过测试气体的石英窗口(17)。所述石英窗口(17)位于连接到真空泵(13)的吸入室(15)内。为了减少响应时间,在所述吸入室(15)内设置有气体引导板(18),所述引导板和石英窗口(17)限定狭窄的气体引导室(19)。 |
申请公布号 |
CN101171501B |
申请公布日期 |
2010.10.13 |
申请号 |
CN200680015926.1 |
申请日期 |
2006.04.27 |
申请人 |
因菲康有限公司 |
发明人 |
丹尼尔·韦齐希;维尔纳·格罗斯·布莱;彼得·朗;斯特凡·梅布斯 |
分类号 |
G01M3/20(2006.01)I |
主分类号 |
G01M3/20(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
张文;段斌 |
主权项 |
一种具有石英窗口传感器的嗅吸测漏器,包括:通过嗅吸导管(11)连接到所述石英窗口传感器(16)的嗅吸探针(12),真空泵(13)以及位于所述石英窗口传感器(16)的石英窗口(17)前面并且连接到所述真空泵(13)的吸入室(15),其特征在于,所述吸入室(15)包括与所述石英窗口(17)一起限定气体引导室(19)的气体引导板(18),并且所述嗅吸导管(11)通入所述气体引导室(19)内。 |
地址 |
德国科隆 |