发明名称 具有石英窗口传感器的嗅吸测漏器
摘要 本发明涉及一种嗅吸测漏器,其包括石英窗口传感器(16),所述传感器设有能够选择性地透过测试气体的石英窗口(17)。所述石英窗口(17)位于连接到真空泵(13)的吸入室(15)内。为了减少响应时间,在所述吸入室(15)内设置有气体引导板(18),所述引导板和石英窗口(17)限定狭窄的气体引导室(19)。
申请公布号 CN101171501B 申请公布日期 2010.10.13
申请号 CN200680015926.1 申请日期 2006.04.27
申请人 因菲康有限公司 发明人 丹尼尔·韦齐希;维尔纳·格罗斯·布莱;彼得·朗;斯特凡·梅布斯
分类号 G01M3/20(2006.01)I 主分类号 G01M3/20(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 张文;段斌
主权项 一种具有石英窗口传感器的嗅吸测漏器,包括:通过嗅吸导管(11)连接到所述石英窗口传感器(16)的嗅吸探针(12),真空泵(13)以及位于所述石英窗口传感器(16)的石英窗口(17)前面并且连接到所述真空泵(13)的吸入室(15),其特征在于,所述吸入室(15)包括与所述石英窗口(17)一起限定气体引导室(19)的气体引导板(18),并且所述嗅吸导管(11)通入所述气体引导室(19)内。
地址 德国科隆