| 发明名称 |
Method and device for aligning a charged particle beam column |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1306878(B1) |
申请公布日期 |
2010.10.13 |
| 申请号 |
EP20020016838 |
申请日期 |
2002.07.29 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS ISRAEL LTD. |
发明人 |
SHEMESH, DROR |
| 分类号 |
H01J37/04;H01J37/21;A61N5/00;G01N21/00;G21G5/00;H01J3/26;H01J37/08;H01J37/153;H01J37/22;H01J37/26;H01J37/304 |
主分类号 |
H01J37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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