用于检测过程变化的方法

摘要

本发明提供一种用于创建过程变化检测算法的方法。把进化计算技术应用于包含至少一个已知过程变化的至少一个过程数据集。进化计算技术将生成优化已知过程变化的检测的过程状态函数(或者与现有的过程状态函数一起使用的比例系数)。然后，所生成的过程状态函数或系数可以被应用于未来的数据集(实时的或者处理之后的)以检测过程变化。

主权项

一种用于检测过程变化的方法，所述方法包括：把衬底置于腔室中；使所述衬底经历具有至少一个已知过程变化的过程；在过程期间获得至少一个数据集；产生过程状态函数的随机种群作为当前种群；重复下面的步骤，直到重复设定的次数或者所述当前种群的成员显示了足以满足用户需求的能力：把至少一个数据集应用于所述当前种群的每个成员；评估所述当前种群的每个成员的能力以检测至少一个已知过程变化；重新组合所述当前种群的最成功成员以产生新种群；用所述新种群替换所述当前种群。