用于三极式场发射阴极的无机绝缘膜和聚酰亚胺复合膜

摘要

本发明提供一种有机无机叠层复合的绝缘膜的结构及其制备方法，用于场发射平板显示器。该方法所述复合绝缘膜由无机绝缘膜和聚酰亚胺膜叠加而成，沿着从场发射阴极基板到阳极的方向复合绝缘膜中无机绝缘膜和聚酰亚胺膜的排列方式为无机绝缘膜、聚酰亚胺膜、无机绝缘膜，或者为聚酰亚胺膜、无机绝缘膜。从场发射阴极到阳极方向上看，场发射阴极基板结构依次为玻璃基板、栅极、复合绝缘膜、场发射阴极，或者是玻璃基板、场发射阴极、复合绝缘膜、栅极。采用这种复合绝缘膜构建前栅或者后栅结构，能够以较廉价的方式获得大面积场发射平板显示器件上面阴极和栅极之间的可靠绝缘。

主权项

一种由无机绝缘膜和聚酰亚胺绝缘膜构成的复合绝缘膜，其特征在于：所述复合绝缘膜由无机绝缘膜和聚酰亚胺膜叠加而成，沿着从场发射阴极基板到阳极的方向复合绝缘膜中无机绝缘膜和聚酰亚胺膜的排列方式为无机绝缘膜、聚酰亚胺膜、无机绝缘膜，或者为聚酰亚胺膜、无机绝缘膜。