发明名称 PLANAR SUBSTRATE DEVICES INTEGRATED WITH FINFETS AND METHOD OF MANUFACTURE
摘要
申请公布号 EP1805795(A4) 申请公布日期 2010.10.06
申请号 EP20050809789 申请日期 2005.10.11
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 ANDERSON, BRENT, A.;NOWAK, EDWARD, J.;RANKIN, JED, H.
分类号 H01L27/12;H01L21/336;H01L21/78;H01L21/8238;H01L21/84;H01L29/04;H01L29/786 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
地址