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发明名称
PLANAR SUBSTRATE DEVICES INTEGRATED WITH FINFETS AND METHOD OF MANUFACTURE
摘要
申请公布号
EP1805795(A4)
申请公布日期
2010.10.06
申请号
EP20050809789
申请日期
2005.10.11
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
ANDERSON, BRENT, A.;NOWAK, EDWARD, J.;RANKIN, JED, H.
分类号
H01L27/12;H01L21/336;H01L21/78;H01L21/8238;H01L21/84;H01L29/04;H01L29/786
主分类号
H01L27/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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