一种掩膜装置

摘要

本实用新型涉及平板显示器技术领域，尤其涉及一种掩膜装置。掩膜装置用于面板的膜层加工，其包括基体材料层和表面涂层。基体材料层由不易变形且可承受高温的材料制成，表面涂层设置于基体材料层的一侧，用于避免基体材料层与面板直接接触，且表面涂层由柔性且耐高温材料制成。本实用新型通过增设由柔性耐高温材料制成的表面涂层来避免基体材料层与面板直接接触，避免掩膜装置损伤面板或其上的已有膜层，保证面板具有更高的良品率。

主权项

一种掩膜装置，用于面板的膜层加工，其包括基体材料层，所述基体材料层由不易变形且可承受高温的材料制成，其特征在于：所述掩膜装置至少还包括表面涂层，所述表面涂层设置于所述基体材料层的一侧，用于避免所述基体材料层与所述面板直接接触，且所述表面涂层由柔性且耐高温材料制成。