发明名称 |
Ätzverfahren zur Behandlung eines Substrates, Trockenätzverfahren für eine polyetheramid-Harzschicht, Herstellungsverfahren für einen Tintenstrahl-Druckkopf, Tintenstrahlkopf und Tintenstrahl-Druckgerät |
摘要 |
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申请公布号 |
DE69942682(D1) |
申请公布日期 |
2010.09.30 |
申请号 |
DE19996042682 |
申请日期 |
1999.06.11 |
申请人 |
CANON K.K. |
发明人 |
KOBAYASHI, JUNICHI;OHKUMA, NORIO;MURAKAMI, KEIICHI;SATO, TAMAKI |
分类号 |
H01L21/027;B41J2/16;H01L21/308;H01L21/311 |
主分类号 |
H01L21/027 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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