发明名称 Ätzverfahren zur Behandlung eines Substrates, Trockenätzverfahren für eine polyetheramid-Harzschicht, Herstellungsverfahren für einen Tintenstrahl-Druckkopf, Tintenstrahlkopf und Tintenstrahl-Druckgerät
摘要
申请公布号 DE69942682(D1) 申请公布日期 2010.09.30
申请号 DE19996042682 申请日期 1999.06.11
申请人 CANON K.K. 发明人 KOBAYASHI, JUNICHI;OHKUMA, NORIO;MURAKAMI, KEIICHI;SATO, TAMAKI
分类号 H01L21/027;B41J2/16;H01L21/308;H01L21/311 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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