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发明名称 IMPLANT AT SHALLOW TRENCH ISOLATION CORNER
摘要
申请公布号 EP2057675(B1) 申请公布日期 2010.09.29
申请号 EP20070837483 申请日期 2007.08.29
申请人 EASTMAN KODAK COMPANY 发明人 DOAN, HUNG, QUOC;STEVENS, ERIC, GORDON
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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