发明名称
摘要
申请公布号 JP4554075(B2) 申请公布日期 2010.09.29
申请号 JP20000531865 申请日期 1999.02.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/26;C23C16/458;H01L21/683;H01L21/687 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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