一种基于纳米腔天线阵列的气体折射率传感器

摘要

一种用于测定气体折射率值的传感器，其特征在于该结构由金属光栅层、空气间隙隔层和金属基底层构成。在入射波长为1548-1553纳米和入射角为22-24度时，该气体传感器灵敏度高达2800纳米/单位折射率。特别是金属光栅周期为1100纳米、光栅厚度为20纳米、空气间隙隔层厚度为30纳米时，传感器灵敏度高达3050纳米/RIU。

主权项

一种用于1550纳米波段的纳米腔天线阵列气体折射率传感器，其特征在于该纳米腔天线阵列的金属光栅周期为1000-1200纳米，槽深为15-25纳米，占宽比为0.5。