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发明名称 Werkstückträger mit Fluidzonen zur Temperatursteuerung
摘要
申请公布号 DE112008003029(T5) 申请公布日期 2010.09.23
申请号 DE200811003029T 申请日期 2008.10.31
申请人 MATTSON TECHNOLOGY INC. 发明人 ZUCKER, MARTIN L.;DEVINE, DANIEL J.;NAGORNY, VLADIMIR;MOHN, JONATHAN
分类号 H01L21/00;H01L21/683 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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