利用传统工艺制备双面PN结晶硅太阳能电池的方法

摘要

本发明公开了一种利用传统大规模生产线工艺制备双面PN结晶硅太阳能电池的方法，包括：在晶硅基板正面和背面制备绒面结构；将正面和背面均有绒面结构的晶硅基板放置于扩散炉中进行扩散，形成双面PN结；在晶硅基板正面和背面生长Si3N4减反膜；在晶硅基板的背面激光刻蚀形成太阳能电池正极的栅槽；对晶硅基板背面的正、负极电极分别进行丝网印刷，并进行热处理固化；对晶硅基板正面的负极电极进行丝网印刷，并进行热处理固化；合金退火，制备出双面PN结太阳能电池。本发明通过大生产工艺来制备双PN结晶硅电池，利用双PN结来工作，达到高效转换的目的，具有增加的工艺步骤少、能与大生产线上的工艺兼容，易于实现大规模生产的特点。

主权项

一种利用传统大规模生产线工艺制备双面PN结晶硅太阳能电池的方法，其特征在于，该方法包括：步骤101：在晶硅基板正面和背面制备绒面结构；步骤102：将正面和背面均有绒面结构的晶硅基板放置于扩散炉中进行扩散，形成双面PN结；步骤103：在晶硅基板正面和背面生长Si3N4减反膜；步骤104：在晶硅基板的背面激光刻蚀形成太阳能电池正极的栅槽；步骤105：对晶硅基板背面的正、负极电极分别进行丝网印刷，并进行热处理固化；步骤106：对晶硅基板正面的负极电极进行丝网印刷，并进行热处理固化；步骤107：合金退火，制备出双面PN结太阳能电池。