| 发明名称 |
SILICA GLASS CONTAINING TIO2 AND OPTICAL MATERIAL FOR EUV LITHOGRAPHY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1608599(A1) |
申请公布日期 |
2005.12.28 |
| 申请号 |
EP20040725542 |
申请日期 |
2004.04.02 |
| 申请人 |
ASAHI GLASS COMPANY LTD. |
发明人 |
IWAHASHI, YASUTOMI;KOIKE, AKIO |
| 分类号 |
C03B20/00;C03B19/14;C03C3/06;C03C4/00;(IPC1-7):C03C3/06 |
主分类号 |
C03B20/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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