| 发明名称 |
基板夹取装置 |
| 摘要 |
本发明揭露一种基板夹取装置，该基板夹取装置包括夹持单元、基板定位结构以及气浮单元。夹持单元用以夹取基板；该基板放置于该基板定位结构上；该气浮单元设置于该基板定位结构远离该基板的第一侧，该气浮单元朝该基板定位结构喷出空气而使该基板定位结构浮起。本发明的基板夹取装置利用气浮单元使在夹取基板时基板定位结构能在一定范围内自由浮动，减少由于基板位置发生偏移而导致夹取单元或基板损坏的情况。 |
| 申请公布号 |
CN101840880A |
申请公布日期 |
2010.09.22 |
| 申请号 |
CN201010157871.6 |
申请日期 |
2010.03.24 |
| 申请人 |
友达光电(苏州)有限公司;友达光电股份有限公司 |
发明人 |
陶朋来;李春辉 |
| 分类号 |
H01L21/683(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种基板夹取装置，其特征在于该基板夹取装置包括夹持单元，用以夹取基板；基板定位结构，该基板放置于该基板定位结构上；以及气浮单元，该气浮单元设置于该基板定位结构远离该基板的第一侧，该气浮单元朝该基板定位结构喷出空气而使该基板定位结构浮起。 |
| 地址 |
215021 江苏省苏州市苏州工业园区苏虹中路398号 |
