生成超声振动的装置与方法及用其清洗晶片的装置与方法

摘要

生成超声振动的装置及方法中，在超声振动生成器中生成的超声振动经由材料层传递以控制所述超声振动的强度及方向。清洗晶片的装置及方法中，清洗溶液供给器将用于清洗所述晶片的清洗溶液供给至所述晶片上。超声振动生成器生成超声振动。所述超声振动经由传递部件的材料层传递以控制所述超声振动的强度及方向。将所述超声振动施加至所述清洗溶液。

主权项

一种生成超声振动的装置，所述装置包括：生成超声振动的超声振动生成器；及位于所述超声振动生成器的一端部的传递部件，并且所述传递部件包括至少一种用于控制所述超声振动的强度与方向的材料，所述超声振动经由所述传递部件传递至用于清洗晶片的清洗溶液；其中所述材料设置为所述传递部件中的至少一材料层，并且根据所述材料层的数量、各材料层的厚度、以及各材料层的宽度中的至少一个来改变所述超声振动的强度与方向。