内玻璃管带金属吸收体集热元件制造方法设备产品

摘要

内玻璃管带金属基底吸收体集热元件制造方法：在内玻璃管上低热阻连接包裹金属材料或搪、喷涂金属及镀金属来制作金属基底。据此方法制造的内玻璃管带金属基底吸收体真空集热元件，由内玻璃管和罩玻璃管融封抽真空制成，其特征在于内玻璃管上包裹有金属材料或者搪、喷、镀有金属层简称金属基底；金属基底上含有吸收膜。还根据此方法提供化学气相沉积及等离子刻蚀专用设备。本发明有益效果：保留了高可靠低成本的融封工艺；又可获得更多基于金属基底的吸收膜，包括微不平表面选择性吸收膜。它们吸收率高、发射率低；能在高温下稳定、高效集热；能大幅降低聚光集热模式下焦斑处的吸收膜最高温度、减少热损、延长吸收膜寿命。结合附图给出两个实施例。

主权项

内玻璃管带金属基底吸收体的真空集热元件制造方法：在内玻璃管上低热阻连接包裹金属卷板件或在内玻璃管上通过搪金属、喷涂金属、电镀以及化学置换形成金属镀层来设置金属基底；所述金属卷板件不具有翅板形状；金属基底可以360°圆周角包裹内玻璃管；也可以小于360°的圆周角部分包裹内玻璃管；在金属基底的全部或者部分外表面制作吸收膜；将上述制有吸收膜的内玻璃管圆封朝里插入一个一端圆封的罩玻璃管并与罩玻璃管融封，再将两玻璃管之间的夹层抽真空及灌装工质，制成一个内玻璃管带金属基底吸收体的真空集热元件或者热管真空集热元件。