发明名称 Verfahren zur Herstellung räumlicher Feinstrukturen
摘要
申请公布号 DE102005012739(B4) 申请公布日期 2010.09.16
申请号 DE200510012739 申请日期 2005.03.19
申请人 MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E.V. 发明人 HELL, STEFAN;WESTPHAL, VOLKER;QUAAS, NORBERT
分类号 B81C1/00;B82B3/00;G01N21/64;G03F7/004;G03F7/20 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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