| 摘要 |
Ein Titanelektrodenmaterial wird kostengünstig und mit ausgezeichneter elektrischer Leitfähigkeit, Korrosionsbeständigkeit und Wasserstoffabsorptionsbeständigkeit bereitgestellt, und ein Oberflächenbehandlungsverfahren für ein Titanelektrodenmaterial wird angegeben. Ein Titanelektrodenmaterial beinhaltet: auf der Oberfläche eines Titanmaterials mit reinem Titan oder einer Titanlegierung eine Titanoxydschicht mit einer Dicke von 3 nm oder mehr und 75 nm oder weniger sowie mit einem Atomkonzentrationsverhältnis von Sauerstoff und Titan (O/Ti) an einer Stelle mit der maximalen Sauerstoffkonzentration in der Schicht von 0,3 oder mehr und 1,7 oder weniger; und eine Legierungsschicht mit zumindest einem Edelmetall aus der Gruppe Au, Pt und Pd, sowie zumindest einem Nichtedelmetall aus der Gruppe Zr, Nb, Ta und Hf, mit einem Gehaltsverhältnis des Edelmetalls und des Nichtedelmetalls von 35 : 65 bis 95 : 5 im Atomverhältnis sowie mit einer Dicke von 2 nm oder mehr auf der Titanoxydschicht. Das Oberflächenbehandlungsverfahren für ein Titanelektrodenmaterial beinhaltet einen Titanoxydschichtausbildungsschritt, einen Legierungsschichtausbildungsschritt und einen Wärmebehandlungsschritt. |
