| 摘要 |
<p>Die Erfindung ist auf stark reflektierende optische Elemente, die eine amorphe MgAlO-SiO-Beschichtung aufweisen, die mit Fluoriden angereichert sind und durch dichte, glatte SiO-Schichten abgeschlossen werden, und ein Verfahren zum Herstellen solcher Elemente unter Verwenden energiereicher Abscheidungstechniken und der Spinellkristallform von MgAlOals Quelle für die amorphe MgAlO-Beschichtung gerichtet. Die hierin beschriebene Beschichtung und das hierin beschriebene Verfahren können zum Herstellen stark reflektierender Spiegel verwendet werden und können auch bei Strahlteilern, Prismen, Linsen, Auskopplern und ähnlichen Elementen, die in Lasersystemen eingesetzt werden, die < 200 nm betrieben werden, angewendet werden.</p> |
