摘要 |
Ein Verfahren zum Anordnen eines optischen Moduls (12) in einer Messvorrichtung (10) umfasst die Schritte: Bereitstellen der Messvorrichtung (10) mit einem Bestrahlungssystem (20) zum Bestrahlen des optischen Moduls (12) mit elektromagnetischer Strahlung (24), einem Referenzbauteil (30) sowie einem eine Detektionsfläche (33) definierenden Detektionselement (32), wobei das Detektionselement (32) in einer definierten Stellung in Bezug auf das Referenzbauteil (30) angeordnet ist, Anordnen des optischen Moduls (12) in der Messvorrichtung (10), derart, dass die von dem Bestrahlungssystem (20) ausgesandte Strahlung das optische Modul (12) durchläuft und als Austrittsstrahl (31) auf die Detektionsfustrittsstrahls (31) in Bezug auf die Detektionsfläche (33, 54), Justieren der Stellung des optischen Moduls in der Messvorrichtung (10), derart, dass die Stellung des Austrittsstrahls (31) in Bezug auf die Detektionsfläche (33, 54) mit einer Sollstellung in Übereinstimmung gebracht wird, sowie Ermitteln von die Stellung des optischen Moduls (12) in Bezug auf das Referenzbauteil (30) definierenden Stellungsparametern.
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