| 发明名称 | 电容式硅微机械雨量传感器 | ||
| 摘要 | 电容式硅微机械雨量传感器采用单晶硅膜(1)作为敏感材料，采用绝缘材料玻璃或陶瓷(3)作为绝缘衬底，用高掺杂的硅质量块(6)的下表面作为电容上电极，在硅质量块(6)的上表面是一层氧化硅(4)，绝缘衬底上溅射的金属(2)作为电容的下电极，上下电极图形一致，由多个单元形成一个2×2以上的二维阵列，衬底与硅质量块(6)用导电胶(5)进行组装，器件制作完成之后，进行引线键合，然后在传感器上表面均匀涂敷一层硅橡胶使其完全密封。本传感器是将雨水的冲击力转换成压敏电容信号，根据电容的变化量间接检测雨量的大小。该传感器灵敏度高，温度稳定性好，体积小，便携性好，成本低的优点，能广泛应用于各种场合。 | ||
| 申请公布号 | CN101509788B | 申请公布日期 | 2010.09.15 |
| 申请号 | CN200910025825.8 | 申请日期 | 2009.03.10 |
| 申请人 | 东南大学 | 发明人 | 顾兴莲;秦明;余辉洋 |
| 分类号 | G01D5/24(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;B81C5/00(2006.01)I | 主分类号 | G01D5/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人 | 叶连生 |
| 主权项 | 一种电容式硅微机械雨量传感器，其特征在于该传感器采用单晶硅膜(1)作为敏感材料，采用绝缘材料玻璃或陶瓷(3)作为绝缘衬底，用高掺杂的硅质量块(6)的下表面作为电容上电极，在硅质量块(6)的上表面是一层氧化硅(4)，绝缘衬底上溅射的金属(2)作为电容的下电极，上下电极图形一致，由多个单元形成一个2×2以上的二维阵列，且单元并联在一起，衬底与硅质量块(6)用导电胶(5)进行组装，器件制作完成之后，进行引线键合，然后在传感器上表面均匀涂敷一层硅橡胶使其完全密封。 | ||
| 地址 | 211109 江苏省南京市江宁开发区东南大学路2号 | ||