具有两个腔室的直线驱动装置及其引导结构

摘要

本发明涉及直线驱动装置及其引导结构。本发明的目的在于提供一种具有不受周围的磁性体的影响的保持可动部的平衡位置的机构的直线驱动装置。由具有在长度方向的两端分别具备盖的长方体的空心箱型结构的引导件、和在该空心箱型结构的内侧所搭载的辅助滑块构成直线驱动装置。将空心箱型结构内侧的面作为辅助滑块及引导件的空气轴承的轴承面。另外，在上述引导件的长度方向的两侧部形成由引导件的内表面和盖及辅助滑块围成的两个空间(腔室)。并且，在辅助滑块向这两个腔室中的一方侧移动时，空气轴承的排气向该腔室一侧流入的量增多。

主权项

一种直线驱动装置，具备引导件和辅助滑块，其特征在于，上述引导件具有在长度方向的两端分别具备盖的长方体的空心箱型结构，在该空心箱型结构的内侧搭载有上述辅助滑块，将上述空心箱型结构内侧的面作为上述辅助滑块及上述引导件的空气轴承的轴承面，由上述引导件的内表面和上述盖及上述辅助滑块围成的空间在上述引导件的长度方向的两侧部形成第一腔室及第二腔室，并且具有以下结构：在上述辅助滑块向上述第一腔室一侧移动时，上述空气轴承的排气向上述第一腔室一侧流入的量增多；在上述辅助滑块向上述第二腔室一侧移动时，上述空气轴承的排气向上述第二腔室一侧流入的量增多。