发明名称
摘要
申请公布号 JP4546483(B2) 申请公布日期 2010.09.15
申请号 JP20060538586 申请日期 2006.01.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/301 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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