透射式光栅相移器

摘要

一种透射式光栅相移器，其特点在于由光栅结构相同的透射式的第一光栅、第二光栅和第三光栅构成，所述的第二光栅和第三光栅的处于同一平面，所述的第一光栅的光栅面与所述的第二光栅和第三光栅的光栅面相向、相互平行并与入射光束垂直地固定在一个装置上，该装置具有控制第二光栅沿垂直于入射光束方向和光栅槽移动的精密微调机构，所述的第一光栅、第二光栅和第三光栅的光栅周期d、占空比f和光栅深度h相同，d满足关系式λ＜d＜2λ，其中λ为入射光波长，占空比f＝0.4，光栅深度h＝1.074微米。本发明不仅可以用于连续激光干涉区域的连续相移，还可以用于双束短脉冲及超短脉冲激光的干涉测量。

主权项

一种透射式光栅相移器，其特征在于该装置由光栅结构相同的透射式的第一光栅(G1)、第二光栅(G2)和第三光栅(G3)构成，所述的第二光栅(G2)和第三光栅(G3)的处于同一平面，所述的第一光栅(G1)的光栅面与所述的第二光栅(G2)和第三光栅(G3)的光栅面相向、相互平行并与入射光束垂直地固定在一个装置(S)上，该装置(S)具有控制第二光栅(G2)沿垂直于入射光束方向和光栅槽移动的精密微调机构，所述的第一光栅(G1)、第二光栅(G2)和第三光栅(G3)的光栅周期d、占空比f和光栅深度h相同，d满足关系式λ＜d＜2λ，其中λ为入射光波长，占空比f＝0.4，光栅深度h＝1.074微米。