光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法

摘要

一种光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法。传感器可以用于检测液体、气体的相对压力和绝对压力，也可用于探测声波，超声波信号等。本结构主要由光纤、弹性膜片、传感器体三部分组成。可以采用两种方式来形成法珀腔。弹性膜片直接与光纤连接，光纤插入传感器体上的孔中，当外界压力变化致使弹性膜片变形时，光纤就会在传感器体中做轴向移动，从而改变了光纤法珀腔的长度，当接入宽带光源后，通过对通过光纤法布里-珀罗压力传感器中的光的光谱扫描或者低相干干涉条纹的提取，可提取出腔长变化，从而获取压力信息。本结构可以避免传统光纤法布里-珀罗传感器膜片变形不能过大的缺陷，可得到更高的测量精度。

主权项

一种光纤法布里-珀罗压力传感器，其特征在于该传感器包括如下三部分：传感器体：光纤法布里-珀罗压力传感器体是传感器的支撑结构和光纤滑动时的引导结构，其形状为圆柱形或长方体形，传感器体的两端相对位置各开有一个盲孔，其中一个盲孔的外端开有一个凹坑形成阶梯孔；弹性膜片：用来感受压力的变化，弹性膜片的一侧粘接有一段光纤，该光纤的端面作为法布里-珀罗腔所需的反射面，粘接有光纤的弹性膜片置入传感器体一端的凹坑中并固定，光纤的端面与盲孔孔底面不接触构成法布里-珀罗腔；传输光纤：放置于传感器体另一端的盲孔中并固定，该传输光纤端面与盲孔孔底面紧密接触。