发明名称 | 固体摄像元件及其制造方法、摄像设备 | ||
摘要 | 固体摄像元件及其制造方法、摄像设备。该固体摄像元件包括:半导体层,具有光电二极管,在光电二极管中进行光电转换;硅氧化物膜,在至少具有光电二极管的区域中通过使用等离子法而在半导体层上形成;膜,形成于硅氧化物膜之上,具有负固定电荷。 | ||
申请公布号 | CN101826541A | 申请公布日期 | 2010.09.08 |
申请号 | CN201010129463.X | 申请日期 | 2010.03.03 |
申请人 | 索尼公司 | 发明人 | 押山到;桧山晋 |
分类号 | H01L27/146(2006.01)I;H04N5/335(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 彭久云 |
主权项 | 一种固体摄像元件,包括:半导体层,具有光电二极管,在所述光电二极管中进行光电转换;硅氧化物膜,在至少具有所述光电二极管的区域中通过使用等离子而形成在所述半导体层上;以及膜,形成于所述硅氧化物膜之上,并具有负固定电荷。 | ||
地址 | 日本东京都 |