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发明名称
摘要
申请公布号
JP4540641(B2)
申请公布日期
2010.09.08
申请号
JP20060172473
申请日期
2006.06.22
申请人
发明人
分类号
H01L29/786;H01L21/76;H01L27/08
主分类号
H01L29/786
代理机构
代理人
主权项
地址
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