| 发明名称 |
KAPAZITÄTSMESSSCHALTUNG, KAPAZITÄTSMESSINSTRUMENT UND MIKROFONEINRICHTUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60237092(D1) |
申请公布日期 |
2010.09.02 |
| 申请号 |
DE20026037092 |
申请日期 |
2002.09.06 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD. |
发明人 |
YAKABE, MASAMI;IKEUCHI, NAOKI |
| 分类号 |
G01R27/26;G01D5/24;G01N27/22;H04R3/06;H04R19/04;H04R29/00 |
主分类号 |
G01R27/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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