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发明名称 Chalcogenid-Film und Verfahren zu dessen Herstellung
摘要
申请公布号 DE112008003056(T5) 申请公布日期 2010.09.02
申请号 DE200811003056T 申请日期 2008.11.13
申请人 ULVAC INC. 发明人 KIKUCHI, SHIN;NISHIOKA, YUTAKA;KIMURA, ISAO;JIMBO, TAKEHITO;SUU, KOUKOU
分类号 H01L27/105;C23C14/06;H01L45/00 主分类号 H01L27/105
代理机构 代理人
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