发明名称 Free-Standing Al, Ga, InN and Parting Method for Forming Same
摘要
申请公布号 KR100979456(B1) 申请公布日期 2010.09.02
申请号 KR20097013810 申请日期 2002.08.12
申请人 发明人
分类号 C30B25/16;C23C16/01;C30B25/02;C30B25/18;C30B29/38;C30B33/00;H01L21/205;H01L33/00 主分类号 C30B25/16
代理机构 代理人
主权项
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